Lehr­stuhl für Mi­kro­sys­tem­tech­nik

Mi­kro­me­cha­ni­sche Kom­po­nen­ten und Sys­te­me sind das Fach­ge­biet von Prof. Dr.-Ing. Mar­tin Hoff­mann, der seit dem 1. Sep­tem­ber 2017 den neuen Lehr­stuhl für Mi­kro­sys­tem­tech­nik lei­tet.

Die Ent­wick­lung, Her­stel­lung und Cha­rak­te­ri­sie­rung von Mi­kro-Elek­tro-Me­cha­ni­schen Sys­te­men (MEMS) – ins­be­son­de­re für An­wen­dun­gen für Op­ti­sche Mi­kro­sys­te­me, für die Le­bens­wis­sen­schaf­ten und für Energie-effi­zien­te Sys­te­me – sind Schwer­punk­te sei­ner For­schungs­ak­ti­vi­tä­ten. Er be­fasst sich mit selbst­or­ga­ni­sie­ren­der Na­no­st­ruk­tu­rie­rung für funk­tio­na­le Ober­flä­chen, Mi­kro-Na­no-In­te­gra­ti­on und neu­ar­ti­gen Sen­sor­kon­zep­ten.